1. Bersuci dari hadats
2. Niat
Niat sholat taubat tidak ada lafadz khusus dan cukup didalam hati saja.
3. Takbiratul ihram dan membaca doa iftitah
4. Membaca surat Al-Fatihah dan surat dalam Al-Quran
5. Ruku dengan tuma'ninah
6. I'tidal dengan tuma'ninah
7. Sujud dengan tuma'ninah
8. Duduk diantara dua sujud
9. Sujud dengan tuma'ninah